Field系列全固態(tài)射頻電源采用全固態(tài)它激式平衡射頻功放技術(shù)，工作頻率范圍為1MHz-400MHz，功率范圍從10KW至30KW，是為半導(dǎo)體生產(chǎn)制造和太陽能光伏生產(chǎn)制造設(shè)計(jì)的新一代功率源，主要應(yīng)用包括射頻濺射，反應(yīng)離子刻蝕，射頻偏置，多態(tài)等離子體，等離子體表面處理，射頻激勵(lì)CO2激光器系統(tǒng)和電感耦合等離子體系統(tǒng)等。
Field系列全固態(tài)射頻電源采用全固態(tài)它激式平衡射頻功放技術(shù)，工作頻率范圍為1MHz-400MHz，功率范圍從10KW至30KW，是為半導(dǎo)體生產(chǎn)制造和太陽能光伏生產(chǎn)制造設(shè)計(jì)的新一代功率源，主要應(yīng)用包括射頻濺射，反應(yīng)離子刻蝕，射頻偏置，多態(tài)等離子體，等離子體表面處理，射頻激勵(lì)CO2激光器系統(tǒng)和電感耦合等離子體系統(tǒng)等。
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Field系列全固態(tài)射頻電源的優(yōu)勢：
1：高功率密度，在一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)19英寸寬、4U(178mm)高的機(jī)箱內(nèi)集成了高達(dá)12KW的射頻輸出功率，并且交流轉(zhuǎn)直流的直流電源也在其中，減小了對(duì)客戶使用時(shí)場地的要求。
2：快速智能的駐波（VSWR）保護(hù)功能，Field系列射頻電源的駐波保護(hù)能在負(fù)載出現(xiàn)異常后毫秒級(jí)的時(shí)間內(nèi)快速啟動(dòng)，可以及時(shí)的可靠的保護(hù)射頻電源不因負(fù)載的異常而損壞。
3：高可靠性高穩(wěn)定性，我們富有經(jīng)驗(yàn)的工程師精心設(shè)計(jì)的射頻功放在任何負(fù)載下都能穩(wěn)定的輸出，負(fù)載在全Smith圖上無雜波。
4：先進(jìn)的射頻功率測量系統(tǒng)，Field系列射頻電源的測量系統(tǒng)采用基于FPGA的數(shù)字中頻測控技術(shù)，能達(dá)到最嚴(yán)苛的半導(dǎo)體制程的功率精度要求。
5：先進(jìn)的控制系統(tǒng)，Field系列射頻電源功率控制系統(tǒng)采用雙PID控制算法，能精確的穩(wěn)定的控制射頻電源的輸出功率。
6：智能的滅弧控制系統(tǒng)，可以通過參數(shù)設(shè)置準(zhǔn)確的識(shí)別電弧。
7：支持掃頻。
8：雙PID、支持多級(jí)脈沖。
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Field系列射頻電源通過遠(yuǎn)程控制（使用Analog I/O 端口、串口或者網(wǎng)口控制）
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