RHH系列射頻電源依靠成熟的射頻發(fā)生技術(shù)為基礎(chǔ)，為客戶提供更大的功率、精度更高、響應(yīng)快速的射頻電源。具有相位可設(shè)、脈沖可控、數(shù)字調(diào)諧等功能。適用領(lǐng)域：光伏產(chǎn)業(yè)、平板顯示器行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、化工業(yè)、實(shí)驗(yàn)室、科研、制造業(yè)等。
RHH系列射頻電源依靠成熟的射頻發(fā)生技術(shù)為基礎(chǔ)，為客戶提供更大的功率、精度更高、響應(yīng)快速的射頻電源。具有相位可設(shè)、脈沖可控、數(shù)字調(diào)諧等功能。適用領(lǐng)域：光伏產(chǎn)業(yè)、平板顯示器行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、化工業(yè)、實(shí)驗(yàn)室、科研、制造業(yè)等。
適用工藝：等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）、等離子體刻蝕、等離子體清洗、射頻離子源、等離子體擴(kuò)散、等離子體聚合濺射、反應(yīng)濺射等。
產(chǎn)品特點(diǎn)
● 半磚和機(jī)架式安裝方式
● 采用全數(shù)字控制，具有便捷和豐富的操作菜單
● 頻率調(diào)諧、脈沖和脈沖同步功能
● 具備CEX相位同步功能
● 完善保護(hù)功能
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